МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
УСТАНОВКИ ДЛЯ ФИНИШНОЙ ОЧИСТКИ ВОДЫ
Общие технические требования
Installations for final water treatment.
General technical requirement
ГОСТ
25661-83
Дата введения 01.01.84
1. Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды
(далее - установки), предназначенные для деионизации воды с последующей
стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на
месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени
интеграции.
Пояснения терминов, применяемых в настоящем стандарте, приведены в приложении.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2. Очистку воды следует проводить на установке, схема которой приведена на
чертеже.
3. В установку следует подавать предварительно деионизованную воду с
параметрами, указанными ниже:
удельное сопротивление воды при температуре (20±2) °С, МОм · см, не менее
1,0
содержание органических веществ по КМnО4, мг/л, не более
1,5
давление воды, МПа
0,1-0,25
4. При подаче предварительно деионизованной воды установка должна обеспечивать
производительность не менее 0,5 м3/ч.
Для получения деионизованной воды производительностью свыше 0,5 м3/ч следует
устанавливать несколько установок и включать их параллельно.

1 - блок подачи; 2 - расходомер; 3, 5 и 10 - манометры; 4 - блок фильтров; 4.1
и 4.2 - ионообменные фильтры; 4.3 - фильтр предварительной очистки от
микрочастиц; 6 и 14 - приборы для измерения удельного сопротивления воды; 7 и
13 - датчики удельного сопротивления воды; 8 - блок ультрафиолетовой
стерилизации; 9 - фильтр тонкой очистки от микрочастиц; - потребитель; 12 -
блок возврата
Примечание. При отсутствии требований к содержанию в деионизованной воде
микроорганизмов и микрочастиц из схемы установки следует исключить поз. 8-10.
5. Установка должна обеспечивать получение деионизованной воды с параметрами,
указанными ниже:
удельное сопротивление воды при температуре (20±2) °С, МОм · см, не менее
18
содержание электролитов, мг/л, не более
0,02
содержание органических веществ по КмnO4, мг/л, не более
1
число микрочастиц размером более 0,5 мкм в 1 мл, не более
150
число микроорганизмов, колоний в 1 мл, не более
2
6. Все детали установки, соприкасающиеся непосредственно с деионизованной
водой, должны быть выполнены из материалов, не ухудшающих ее параметров.
7. В ионообменных фильтрах в качестве ионитов следует применять смесь
сильноосновных анионитов и сильнокислотных катионитов в соотношении,
обеспечивающем получение необходимого удельного сопротивления воды.
8. Размер пор фильтра предварительной очистки от микрочастиц должен быть не
более 2 мкм.
9. Размер пор фильтра тонкой очистки от микрочастиц должен быть не более 0,22
мкм.
10. Качество деионизированной воды по удельному сопротивлению следует
контролировать непрерывно.